1、查历史记录。检查DCS操作记录,对比正常的炉子,看操作手法是否一致,升温、降温过程否一致,从操作过程的异同找问题。
2、查设备。看还原炉的喷嘴是否有磨损、变形,物料的喷嘴如果变形,会造成物料分布不均,温差大,形成爆米花。
3、查物料配比。看氢气与三氯氢硅是否流量与平时一致。
4、查阀门等控制仪表。如果调节阀控制不稳定,也可能会造成流量波动,造成的结果与前3种情况混杂在一起就很难判断了。
所以,需要楼主先从简单的问题查起,确认了工艺参数和操作都没有问题,就要查设备问题了。
貌似各说不一啊,每个人都有自己的观点哈,我觉得温度还是主要因素,配比是技术部给的,不是操作人员决定的吧。。有没有资深专家给解读一下,最好能摆出事实论据咋们心服口服的。。版主这个事你得当回事办啊,类似的问题已经不是5次8次了呀。。期待。。。 温度控制高了,和别的关系不大!温度控制适当低20至50度即可。 这个就是传说中的爆米花,主要是配比、温度和压力没有控制好,还有就是炉子的截止流速过快,同时DCS含量高。
xinmixiaozi 发表于 2012-3-19 22:40
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你说是比例没控制好,那好我问一问,怎么样的比例才叫好,提醒你一点我们各台还原炉用的是一个汽化器,配 ...
很明显这是横梁硅棒温度太高熔了啊,主要是前期横梁没长好,后期电流又狂加 这种情况很正常,每家多晶硅厂都有这种情况,工艺、操作、控制、设备等各方面原因都可能这个问题,具体要在现场一看就知道了 我们这边也出现过这种现象,但是一直没找到确定的原因。我感觉是因为温度过高,配比较小造成的。因为只有几台还原炉出现。具体原因还请高手指教。
你们一台汽化器控制几台炉子?进料配比需要随温度的升高变化,如果汽化器对应的炉子太多就不好对单台还原炉的配比进行控制。
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