炉内硅棒生长异常!
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/000/87/18/10_200_200.jpg近期我们在生产中常遇到在硅棒生长5个小时左右时炉内硅棒生长异常,停车;开炉后就一根硅棒的局部出现了照片里的异常物,其余硅棒生长正常;请各位朋友帮忙分析一下是什么原因造成的。
是不电流控制过大,生长太快呀 但其他硅棒正常,就那一小段出现问题了,如果生长太快应该是整炉硅棒出现问题。 生长过程中有污染物吸附表面,硅棒表面不能致密沉积。这种情况,虽然长得快,但是就是泡沫结构的酥松多晶,就可以说是废品了。 同意楼上说法,还有一种可能,硅芯没有清洗干净所致!!! 三个问题。
第一:硅棒清洗是整根一起洗的吧,不太可能只有一部分不干净吧?
第二:如果是脏东西进炉子了,为什么就仅仅那一小段上吸附了,其他地方都蛮好?
第三:如果是电流控制不好,那么上下段外观差别也不应该有这么明显吧?
很迷茫啊。。。最后,冒昧问下,贵公司是哪家啊? 你们的硅芯是怎么做出来的?是硅芯炉拉的吗怎么那么圆?指教
是内圈还是外圈?请问贵公司是哪家啊? 如果是局部的问题。会不会是硅芯的问题,可以考虑下。
pv2010dunan 发表于 2012-5-19 22:25
登录/注册后可看大图
你们的硅芯是怎么做出来的?是硅芯炉拉的吗怎么那么圆?指教
这个是生长过一段时间后的图片,并不是硅芯的图片。
页:
[1]
2