anqidetiankong 发表于 2012-10-9 10:30:52

多晶硅生产中原料的纯度

用于生产三氯氢硅的氯化氢的纯度是多少？，用于氢化转化四氯化硅的氢气的纯度是多少？请大家积极发言啊 谢谢

dajiahigh 发表于 2012-10-18 20:31:27

这个问题估计不会有人回答，涉及各家的核心啊~

Minos 发表于 2012-10-19 09:55:52

这两个浓度根本就无所谓，出来的TCS反正是还要提纯的
进还原炉的氢气纯度才有严格控制
页: [1]
查看完整版本: 多晶硅生产中原料的纯度