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anqidetiankong
发表于 2012-9-29 13:00:17
多晶硅冷氢化反应器中HCL的含量?
冷氢化中生成的Hcl含量是多少?我是直接把SICL4和H2的反应,HCL和SI的反应,这两个反应方程合成一个了,写成一个之后,反应过程就相当于没有HCL生成,这样ASPEN模拟时出口物流里不含HCL, 我也知道这不对的 但是不知道怎么确定?有木有大侠出来指点一二啊?非常万分感谢!
Minos
发表于 2012-10-19 10:29:58
HCl在冷氢化里的量不是严格控制的,随意加别太多就行
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多晶硅冷氢化反应器中HCL的含量?