还原炉中三氯氢硅的转化率．

jilaxy 发表于 2011-5-30 12:51:02

大家说说所在公司的还原炉中的三氯氢硅的转化率吧，我们这里是11.5％左右，不知道算高还是算低呢？还有提高的空间吗？

wzfrank 发表于 2011-5-30 13:05:15

有提高的空间哦你们的11.5％算中等水平

gas110 发表于 2011-5-30 14:09:51

差不多了
将就着吧

ymlgx 发表于 2011-5-30 14:15:26

通过改变三氯氢硅尾气的流量，控制三氯氢硅在炉内停留时间，足以可以提高三氯氢硅转化率

jilaxy 发表于 2011-5-31 12:22:23

回复 2# wzfrank
请问理想状态下，三氯氢硅的转化率最高可以达到多少？

隐身猪 发表于 2011-5-31 15:11:48

回复 4# ymlgx
意思是提高气流速度？

king2401 发表于 2011-6-3 09:10:19

一次转化率11.5%还可以，在过程中，除了着眼一次转化率外，还要关注选择性。只有平衡着两个指标，才能将成本控制最低，不能只追求TCS转化成Si的一次转化率

stoner 发表于 2011-6-6 11:27:47

提高炉压是解决问题的关键

gcgj568 发表于 2011-6-6 14:40:40

听说中能的可以达到20%--30%左右，不知是否真的。

明日的记忆 发表于 2011-8-26 10:27:46

回复 9# gcgj568
哪有那么高，理论值才28%

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