硅烷
硅烷法生产多晶硅前景怎么样,现在多晶硅的发展趋势往哪个方向走啊???硅烷流化床!!!!!!!!!! 前景很好 啊 依我看硅烷法绝对不会是最终极的晶硅工艺
Minos 发表于 2012-10-23 15:11
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依我看硅烷法绝对不会是最终极的晶硅工艺
现在流行冷氢化,硅烷和冷氢化比哪个好啊
sanzizi 发表于 2012-10-23 15:33
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现在流行冷氢化,硅烷和冷氢化比哪个好啊
不是一个概念的东西...............冷氢化不过是一道工序而已 长期硅烷流化床和三氯氢硅流化床并行。原因是硅烷流化床工艺1987年就发展了,同时那个时期碳化硅、氮化硅材料、石墨材料发展迅猛,要是能完全取代,早就取代了。 硅烷法重点在于安全性
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