zwd7710615 发表于 2012-11-1 15:30:44

硅烷法制备多晶硅

问大家个问题，六九用了硅烷法制备多晶硅为什么电耗还是没降下来？

zhouqm 发表于 2012-11-1 17:29:17

硅烷制备工艺不是歧化法，还原硅烷采用CVD模式。
元芳，你怎么看？

gysmlhd 发表于 2012-11-2 07:44:53

主要是他们用的是CVD还原炉形式，并且，老外骗了中国人一把
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