fubao2008 发表于 2010-2-8 14:54:44

AlCl3 在氯硅烷中是以何种形式存在的

AlCl3 在氯硅烷中是以何种形式存在的？常温密封保存的AlCl3是固体，露空极易潮解

eaglet1984 发表于 2010-2-8 15:29:09

黏着状，容易堵塞管道

海硅哥哥 发表于 2010-2-8 17:18:51

一般在多晶硅合成部门就出去一大部分了，因为合成管道有伴热，所以都是以气体存在的，遇到冷凝器由于量很少就混在SIL中，时间长了是有点附在管道内壁。。

fubao2008 发表于 2010-2-9 10:59:54

我想知道常温下和100-150度间 它在氯硅烷中溶解度   请前辈们指点

tianhailong 发表于 2010-2-9 19:56:01

温度高的时候是气态形式吧，如果温度降低的时候就会冷却下来附着在管道上，造成管道的堵塞。

流浪四方 发表于 2010-2-22 10:57:25

应该是白色悬浮物，象二氧化硅。

就是那只蟋蟀28 发表于 2010-3-13 18:02:42

应该注意气态氯化铝凝华时的温度，堵塞管道是肯定的，关键是堵塞在哪个位置，当发生堵塞时是否还能保证合成工序的连续运行

xilihuagong 发表于 2013-5-3 15:56:32


fubao2008 发表于 2010-2-9 10:59

                              
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我想知道常温下和100-150度间 它在氯硅烷中溶解度   请前辈们指点
我也想知道，不知您有数据了么现在？！
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