36对棒硅芯击穿后抖动
各位大侠:36对棒硅芯击穿后,在氮气气氛下硅芯高频率抖动,电流增加到60A后抖动减弱,通入H2置换过程中抖动加剧,当H2在1bar压力下,不再通H2依然抖动,压力越高抖动越厉害。进料后通入TCS就停止抖动,请问大侠些是什么原因,如何解决。
一起等答复
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https://bbs.hcbbs.com/thread-269515-1-1.html
引起共振了吧?
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电磁场的影响这是正常的,氢气通入后抖动加剧是氢气的性质决定的。控制一下速度就好了 各位大哥:
N2气氛和H2气氛下都抖动啊,硅芯象筛糠一样。保压都抖动啊,单项启动起来也抖动啊。 击穿后抖动就是电磁场的作用,电磁场是跟点击分布有关的,不可调节。在稳定的气场形成之前硅芯是要抖得 后来怎么解决的 用下15*15的方硅芯试试
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抖动是正常现象。这是我们的经验。至于炉内气体温度差引起湍流,或是电流的安培力等什么所谓的深层次原理分析,均无实际检测数据支持理论,这里就不在多说拉,也没能力说清,对大家用处也不大,只要硅芯质量,安装质量和工艺控制平稳了就好!
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