多晶硅生产原料的质量要求
多晶硅产品的质量最主要的因素来源于三氯氢硅和回收氢气中的杂质含量要求。现今生产中,供还原使用的三氯氢硅及回收氢气杂质含量要求各家企业都控制在多少?B/P/C,金属杂质等等。当然,不同的企业产品定位决定了质量控制要求。我们在这里讨论的仅仅是满足于当前国内需要的太阳能级多晶硅产品需求。
欢迎大家讨论。
不知道呢。知道的大家说说呗!学习学习啊 化学法的话,估计是在B和P是在PPb的级别,C的话就不是很清楚了!现在资料很多,可以查一查 B在0.2ppb以下,P在1ppb真是值应该都没有问题 B、P小于5ppb就可以了吧?
重金属的话,Fe、Mn、Ni、Na、Mg等等都要小于0.5ppb的吧?
归根结底还是要看你多晶硅的品质要求。。。
看过一篇外文报道,基本控制都很低,B/P在0.1PPb以下
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