dajiahigh 发表于 2013-12-27 12:14:54

多晶硅块清洗的问题~

最近一 直在想这个问题,多晶硅块清洗为什么一定要用超纯水?可以用一般脱盐水代替不?对质量方面会有什么不利影响?希望,懂这个的朋友能谈一下~

xilihuagong 发表于 2013-12-27 16:30:04

是不是担心脱盐水中的B、P含量高,污染了硅块?

lesson 发表于 2014-1-10 13:08:46

脱盐水中的金属杂质不合格,会导致硅料表面的金属杂质偏高,在后续客户使用过程中,少子寿命会偏低,光衰也高,影响终端产品寿命、性能。
超纯水与脱盐水的不同就是电导率不同,电导率不同就是因为过滤掉了一些金属离子。
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