冰点降温 发表于 2009-9-17 09:01:30

有关精馏段三氯氢硅原料中B、P、Al、Fe分别是一什么形式存在的？

本帖最后由 zjiris 于 2009-9-17 09:59 编辑
请教大家，多晶硅精馏段三氯氢硅原料中B、P、Al、Fe分别是一什么形式存在的？B和P除了一Bcl3、PCl3的形式，还有别的吗？

zhangrang 发表于 2009-9-18 16:39:30

BCl3、BHCl2、PCl3、PCl5、POCl3以及其它尚未确定的化合物

zhx023 发表于 2009-9-20 16:15:17

还有部分的Alcl3和Fecl3

zhangrang 发表于 2009-9-21 15:59:49

这个是我们内部资料上的

人随风 发表于 2009-9-21 20:17:38

呵呵资料这么细啊

mayingli 发表于 2014-2-20 10:42:55


zhangrang 发表于 2009-9-18 16:39

                              
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BCl3、BHCl2、PCl3、PCl5、POCl3以及其它尚未确定的化合物
BHCL2？？？？？？是什么哦，好像差不出来 这个是什么

lcx8642 发表于 2009-9-18 16:39:00

这么详细的资料 呵呵不过我们直接络合效果不错 没考虑以什么形式存在

xwq832566 发表于 2014-4-22 01:22:50

BH2，BH5，国外专利上有提到
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