不定型硅的产生机理是什么?如生成温度,压力等,各位海友进来谈谈?
不定型硅的产生机理是什么?如生成温度,压力等,各位坛友进来谈谈?产生无定形硅的主要原因 1:硅棒表面温度太低 2:气相温度过高 3:氢气太少。
第一种:常见于十二对棒的还原炉运行到后期,有的厂家将反应时间设置的太长,硅棒长得太粗,为了防止硅棒破裂,一般将后期反应温度设置的较低
第二种:常见于二十对及其以上的还原炉,还原大,温场分布不均,尤其内环四周都是硅棒,到了后期,热辐射强烈,只要气相温度局部超过了570℃,TCS开始分解产生硅粉,这种情况无法避免。
第三种:这种情况仅见于由于误操作时,氢气远远低于正常值时才会发生,一般的调整配比(从二调到五)都不会发生。
千寻卫子 发表于 2012-6-26 07:56
产生无定形硅的主要原因 1:硅棒表面温度太低 2:气相温度过高 3:氢气太少。第一种:常见于十二对 ...
感谢坛友如此透彻的分析,我们将试探您所说的进行探索实验,希望你继续跟进,也希望其他坛友继续发表自己的见解。 有道理, 生 产中慢慢体会 学习了,谢谢。 说得有道理,不过二氢二氢硅过多也会产生不定形硅。
ohshiliuxing 发表于 2012-6-26 10:21
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有道理, 生 产中慢慢体会
生产中需要细心观察 及时调整进料电流等参数
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