多晶硅精馏工艺
多晶硅精馏工艺中,B是以什么形式存在的,且它的沸点是与三氯化硅还是四氯化硅相近?https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/88/23_200_200.jpg
不加络合剂的情况下,B按照低沸来看 实际生产中,高沸物中也有部分B杂质 B其实大部分在高沸里面,以BCl3存在的估计就30%的样子。 这个你看针对什么物料来说,如果是纯的TCS,B高沸中会多一些,具体存在形式未知,BCl3基本检测不出;如果在多组分分离中,B相对还是低沸中多一些 低沸点,和高沸点 感觉很多多晶硅厂可能都不知道具体这些杂质是什么,物性是什么样的,只有在多晶硅的品质发生改变时候才会去改变精馏的工况,但是工业生产,这种处理可能是够用的。同时目前的高纯料里痕量杂质很少有检测机构能方法去检测。。。 B的形式是多样的,在三氯氢硅中也会以多种形态产生,相对于三氯氢硅来说,轻重组分的形式都有,
根据实际运行经验来看,主要是以轻组分形式存在
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