酸洗碳头料
各位前辈，我是一个刚入行的，正在从事硅材料酸洗工艺的研究。现在在处理碳头料的时候出现了一个问题，对于碳头料的处理，如果碳头料为原生多晶硅的话，用现在的工艺基本上可以把多晶硅和石墨有效的分离开。但是现在有一批是异常铸锭锅底料，同样也是含石墨，用处理原生多晶硅的工艺去处理这批料的时候发现，多晶硅之间的石墨可以有效的分离，但是石墨和多晶硅的接触面会有一层石墨残留，继续浸泡的话也看不到明显的变化。
想请问一下各位前辈，除了打磨外有什么好办法除去这些附着在硅表面的石墨，谢谢。
用什么浸泡？石墨与硅的接触面上估计形成了SiC，很难去除
页:
[1]