zw1902 发表于 2014-11-26 21:14:46

关于TCS合成炉的喷嘴烧坏

本帖最后由 zw1902 于 2014-11-26 21:18 编辑
    前面发过一贴，说的是分布板结块的情况，这次另加几张照片。
    这回要请教的是TCS合成炉喷嘴烧坏的情况，如图所示，请教各位川友，喷嘴被烧成这样是什么原因呢？晚生先谢谢了！
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/61_200_200.jpg

https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/62_200_200.jpg

https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/63_200_200.jpg

喷嘴貌似都是从里面开始往外面烧的，最终以致上部烧毁
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/69_200_200.jpg
合成炉分布板上结块的东西很多，很厚，而且化验室有些成分做不出来，说是不溶于标液
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/70_200_200.jpg
合成炉底部，额，情况也不乐观啊！
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/65_200_200.jpg
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/001/06/70/66_200_200.jpg
结块的东西哈！

千寻卫子 发表于 2014-11-28 15:40:30

这是合成什么东西，怎么看着像水泥一样的。

zw1902 发表于 2014-11-30 12:27:01


千寻卫子 发表于 2014-11-28 15:40

                              
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这是合成什么东西，怎么看着像水泥一样的。
三氯氢硅的合成炉哈！

myfriday 发表于 2014-11-28 15:40:00

HCL当中水分较多导致的

zhouhongchang 发表于 2014-12-1 03:17:54

炉心没漏吗，显然是有水造成的

daqianwu518 发表于 2014-12-1 16:32:34

HCL含水高是主要原因，HCL供气压力低，或者系统压力高，供气不足也会出现，顺便问下你们是哪的？现在效益行么

xwq832566 发表于 2015-1-17 21:39:12

会不会是回收氯化氢里面有氯硅烷造成的？
我这里也发生过这样的事情，到现在也还不明确是哪里的原因，同求真实的原因。

zw1902 发表于 2015-1-26 00:40:43

额，目前原因未找到，现在又正常了哈！让人给纠结的，实际上，在之前含水更高的时候，也没有这么严重的！现在讲温度提了点！

xwq832566 发表于 2015-1-26 21:28:14


zw1902 发表于 2015-1-26 21:28

                              
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额，目前原因未找到，现在又正常了哈！让人给纠结的，实际上，在之前含水更高的时候，也没有这么严重的！现 ...
什么部位的温度提高了？

caochaohui 发表于 2015-1-27 23:40:59

氯硅烷液体与硅粉，催化剂反应结块是主要原因。图片有白色，说明要么是硅粉，要么是氯化氢含水氯高。
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