多晶硅硅芯发黑，大家觉得有那些因素引起的？

yqqym726 发表于 2011-12-6 12:05:39

多晶硅生产过程中硅芯的问题比较多，那大家觉得多晶硅硅芯发黑有那些因素引起的？

xuelangpk 发表于 2011-12-6 12:37:18

氢气少了，三氯氢硅还是液体就进炉子了。

goucaijiang 发表于 2011-12-6 13:33:00

来学习来学习来学习

287789398 发表于 2011-12-6 17:12:16

炉子启成时温度低，表面长的无定型硅

maxwell_112 发表于 2016-5-31 10:57:00

硅芯着氧化了，起炉抽空问题

虔诚的信徒 发表于 2011-12-6 22:45:01

怀疑可能是不是由于微量氧化引起的变色

nanajiayou_85 发表于 2011-12-7 08:43:11

我来学习学习。。。

liliang060607 发表于 2011-12-7 09:34:30

应该是混合器进料温度低，或者炉体升温不够高，注意氢气纯度

yqqym726 发表于 2011-12-7 09:52:56

我个人觉得，
1：置换不干净。
2，置换气本身原因，质量不合格，包含氮气和氢气，
3：硅芯被污染或者质量问题，
4：系统有阀门内漏等系统问题，
5：进料时温度低，生产了无定性硅。
等等，大家可以想哈还有那些原因！

skymirror 发表于 2011-12-7 12:42:59

硅氧化或氮化不会产生黑色，可能是无定形硅吧

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