多晶硅技术路线-硅烷法-硅烷制备方法综述

hbzhy1 发表于 2010-9-18 12:48:40

最近学习多晶硅方面的知识，综合各种资料的介绍，把硅烷制造方法做了一下综述，
原创的哦。请大家分享，并热切希望提宝贵意见。特别是请老师们点评点评。
多晶硅技术路线-硅烷法-硅烷制备方法综述

zhouqm 发表于 2010-9-18 14:50:55

支持原创，LZ辛苦了！

zhengrd 发表于 2010-9-18 14:56:51

文章中的观点有待商讨：比如硅化镁法，早就可以实现连续生产了，副产物氯化镁也不存在污泥脱水问题啊

zhengrd 发表于 2010-9-18 14:58:08

其实技术是发展的，不能绝对化

ringlxb 发表于 2010-9-20 17:03:05

下载学习了，很好

csusz 发表于 2010-9-22 10:01:15

感谢了，中秋快乐

qzlzg1 发表于 2010-10-2 11:02:48

原创好，楼主可以再详细的吗？

jxjinby 发表于 2010-10-22 16:26:31

下载学习了，很好

shaodow 发表于 2010-10-27 00:46:27

非常有用的材料。谢谢你的辛苦劳动！

paopaolangmic 发表于 2011-3-2 16:52:16

详细些就更好了，楼主辛苦啦
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