多晶硅生长过程中出现的针形硅

yongdingli1987 发表于 2011-9-23 20:39:34

大家有木有遇见过在硅棒生长过程中出现“针形硅”，就是硅棒表面附着一层黑色的斑斑点点。出现这种针形硅的原因？在硅棒生长到什么时候最容易出现？如何避免这种情况的发生？

butingdeyu 发表于 2011-9-24 15:52:44

发个关于硅发黑的文章给你不知道对你有没有帮助！

mjglut 发表于 2011-9-28 21:54:14

本帖最后由 wangli115 于 2011-10-9 09:55 编辑
C化硅或是单质硅

yongdingli1987 发表于 2011-10-7 09:27:50

回复 3# mjglut
c化硅的碳是从哪里进来的？单质硅出现的原因？请具体分析一下
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yongdingli1987 发表于 2011-10-7 10:56:34

本帖最后由 wangli115 于 2011-10-9 09:56 编辑
回复 3# mjglut
我说的单质硅的出现意思是指这部分单质硅没有和硅棒结合在一起，却“解析”出来，能具体分析一下吗

zwd7710615 发表于 2011-10-7 13:29:19

针形硅是不是无定形硅？

yongdingli1987 发表于 2011-10-7 13:41:55

回复 6# zwd7710615
应该可以这么理解你有什么好的见解？

c05160516 发表于 2011-10-9 08:55:06

本帖最后由 wangli115 于 2011-10-9 09:57 编辑
该可以这么理解，你有什么好的见解？

oceans998 发表于 2011-10-9 11:50:33

回复 1# yongdingli1987
有可能是氮化硅，在生长结束后氮气置换时代温度太高生成了氮化硅。

wuming1835 发表于 2011-10-9 11:54:35

回复 10# wuming1835
你说碳化硅或者附着的单质硅我起码能理解！氮化硅到不怎么让人信服啊

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