qw573404649
发表于 2011-10-14 11:50:24
主要问题是氢气瞬间不足
ldw5005
发表于 2011-10-14 12:23:32
回复 10# 上山打虎
经检测氢气和氯硅烷皆合格！
ldw5005
发表于 2011-10-14 12:24:08
回复 11# qw573404649
应该不是！！给大量氢气也会出现！
qw573404649
发表于 2011-10-15 10:58:29
可以上传照片让大家给看看
ts0804030
发表于 2011-10-15 11:09:47
我们在起炉空烧阶段出现过，烧一会就没了
ldw5005
发表于 2011-10-16 10:52:47
回复 15# ts0804030
唉~那具体原因是什么啊？
大家分析分析！！！
上山打虎
发表于 2011-10-17 09:15:21
坐等答案，我也很好奇。按理来说黑色粉末不是C就是Si啊。。。
shamoquan
发表于 2011-10-18 15:47:56
是不是液态三氯氢硅喷进炉内了？查查进料管线温度，你们采用什么样的配比控制方式？
ldw5005
发表于 2011-10-19 11:48:55
回复 18# shamoquan
我个人分析也是如此！！正在做相关调整！！！
yongdingli1987
发表于 2011-10-20 19:05:02
个人认为液态的三氯氢硅喷进炉内，不大可能，因为炉内的温度远远大于三氯氢硅的沸点，就算有液态的进入炉内，瞬间也会汽化的。 请大侠们赐教