日后再说 发表于 2010-7-24 22:31:05

多晶硅沉积

多晶硅的生产涉及到多学科。在此希望各位大大讨论下多晶硅还原炉内的气场的流体运动方式，硅沉积的方式 等，也就是建模。

luoye888 发表于 2011-11-22 08:44:19

这个需要热力学和动力性方面来解释，建模分析比较麻烦，需要进行fluent分析

l4u 发表于 2011-11-23 21:43:04

不知道有没有关于B P的沉积之类的计算方法
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