浅谈多晶硅冷氢化、氯氢化。
氯氢化与冷氢化比较起来共同点是:温度低,压力高,500℃,2个Mpa,相比于热氢化能耗低,与冷氢化比较其优点在于:首先,利用了还原尾气中的HCl,其次,提高了硅粉的利用率和三氯氢硅的产率。在氯氢化和冷氢化中,硅粉都作为硅源参与了反应,氯化氢和氢气作为氢源参与反应,催化剂为铜、铁、镍基物质,具体各厂家选择不同,氯氢化和冷氢化反应本质相同,同属催化氢化。
冷氢化:3SiCL4+2H2+Si→4SiHCL3
氯氢化:3SiCL4+2H2+Si+3HCL→5SiHCL3
还有没有啊,哥们 目前冷氢化和热氢化在国内已经不是技术秘密了, 国内现在能做氯氢化的有那些
跟国外比有没有差距,有多少差距 那种工艺更有优势?能否深入探讨? 冷氢化相对说来比较成熟, 能耗低 回复 6# bl04111
恐怕应该改为:
热氢化相对成熟,冷氢化相对能耗低
这样更准确一点 回复 7# 天马_行空
同意你的观点,六楼是不是弄错啦。 冷氢化和氯氢化技术现在都比较成熟的 同意7楼的观点
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