jiangjiagou 发表于 2009-10-10 11:52:03

三氯氢硅合成尾气中氢气的处理

呵呵！应该是有尾气回收装置的哦！论坛中有不少讨论的！可以搜搜看！

zw1902 发表于 2009-10-10 15:57:26

由于合成尾气中的氢气中含有粒度很细的硅粒,分离较为困难.且氢气燃烧热值高无污染,燃烧可节约部分能源,这不失为一个里外节约的好办法.

jiangjiagou 发表于 2009-10-10 16:19:26

合成尾气除氢气外还有HCL、和氯硅烷，直接燃烧污染环境，一般用尾气回收装置，回收HCL、和氢气

BIERGAI 发表于 2009-10-10 16:45:17

本帖最后由 zw1902 于 2009-10-11 09:55 编辑
如果有HCL合成这个工段，我想你们应该还是会考虑回收哦，毕竟合成尾气中的氢气含量还是不少的，正如LS说的，尾气中还有HCL，CLS，付诸一炬确实不是什么好主意，按理说应该是有个尾气回收的工段哦，用于回收HCL，H2，呵呵！至于说硅粉的影响，个人感觉完全可以忽略了！

weibo_tian 发表于 2009-10-10 16:54:43

个人推荐干法回收。效果很好。至于硅粉的影响，在多晶硅的生产过程中，尾气中的硅粉含量那是相当的少，可以忽略。真要是含量多的话，干法回收系统也可以将其消除的过滤器中。氢气怎么能烧掉呢？那样成本可就高了哟。

zw1902 发表于 2009-10-10 18:18:03

回收，一般用干法回收，
因尾气中除了氯化氢就是氯硅烷，其他杂质很少，一般来说是可以回收回去在进行还原的！

liusicai 发表于 2009-10-11 03:12:31

说错了 我还以为是多晶硅尾气勒

wyc6880 发表于 2009-10-11 07:28:39

可以采用湿法除尘后，在使用氢气净化

wyc6880 发表于 2009-10-11 07:57:00

干法+施法不就回收用了
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