liuxiling0809 发表于 2009-6-7 15:02:57

多晶硅尾气的相关问题

刚接触多晶硅不久，对于多晶硅尾气成分有些疑问，想向各位大侠请教，希望各位不吝赐教啊！
1500T/N多晶硅项目，12对棒的还原炉，每炉的还原尾气量有多少？大致组分怎样？有没有哪位大侠详细介绍下！

lcx8642 发表于 2009-6-7 20:13:31

大致组分是氢气及氯化氢气体，还有一部分三氯氢硅，主要是氢气

ZQTV99 发表于 2009-6-7 20:58:24

组分包括氢气，氯化氢，三氯氢硅，二氯二氢硅，四氯化硅等。至于每炉的还原气量，这个和工艺要求有很大关系，看运行多长时间了，各个公司的技术不一样会相差很多。

liuxiling0809 发表于 2009-6-14 14:23:47

组分比例如何？

ytjcd 发表于 2018-9-14 17:33:30


ZQTV99 发表于 2009-6-7 20:58
组分包括氢气，氯化氢，三氯氢硅，二氯二氢硅，四氯化硅等。至于每炉的还原气量，这个和工艺要求有很大关系 ...
我也想请教下，尾气的组分和比例，气压，大致数据就可以，谢谢
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