谢谢了 国内、俄罗斯及美国的工艺技术比较表
序号 项目 国内 俄罗斯 美国
1 生产方法 改良西门子法, 改良西门子法, 改良西门子法,
2 三氯氢硅合成炉比较 采用加压反应炉，单台生产能力较高，6000~8000吨/年；硅粉连续进料，反应过程均匀,副反应较少 采用低压反应炉，单台生产能力高，6700~8000吨/年；硅粉连续进料，反应过程均匀,副反应较少 采用加压反应炉，单台生产能力较高；硅粉连续进料，反应过程均匀,副反应较少
3 精馏流程比较 精馏流程较为简单，塔数量较少 精馏流程繁琐,塔数量较多 精馏流程简单,塔数量少
4 还原炉比较 采用12对棒，但已开发成功18对、24对棒炉，还原电耗：
55-100kWh/kg 采用9对棒,还原电耗:
90~120kWh/kg 采用24对棒炉,还原电耗:
55~95kWh/kg
5 原料消耗 中等 较高 低
6 公用工程消耗 较低 较高 低
7 软件引进费用 低 较高 高
近年来，国内相关单位在众多不同技术来源的多晶硅项目的工程设计和建设过程中，对引进的俄罗斯、美国、德国的多晶硅生产工艺、以及国内已有的多晶硅生产技术有了较为深入的了解，对各种工艺的优缺点形成了基本明确的认识，相关公司已逐渐掌握了多晶硅装置的关键技术，在充分发挥自身能力和优势的前提下，通过消化吸收和技术整合，在扩大单线产能、减少副产物生成、降低原料消耗、节能、优化废料处理工艺等方面进行了大量工程开发和优化工作，并逐步具备了自主设计多晶硅装置主体工艺的能力。目前，国内单线≥2500吨/年的多晶硅工艺已基本成型，并已建成投产数套生产装置。因此，本项目二期工程整体采用国内技术及主要设备、部分结合引进技术及关键设备（如尾气干法回收工艺技术、还原炉、氢化炉等）、建设单线2500吨/年能力生产线是一个优化的选择。本可研按此技术方案进行编制。
目前，国际上已投入工业运行的四氯化硅氢化系统主要有两种工艺：热氢化工艺和冷氢化工艺。两种氢化工艺优缺点的比较见下表。
表4-1-2 两种氢化工艺比较表
热氢化 冷氢化
操作压力 0.6 MPaG 3.0MPaG
操作温度 1250℃ 550℃
反应原理 SiCL4+H2＝SiHCL3+HCL Si+3SiCL4+2H2＝4SiHCL3
优点 汽相反应；不需催化剂；连续；易操作和控制；维修量小；反应无硼磷杂质带入，后续的精镏更简单；蒸汽耗量低；工艺成熟，有可靠的技术来源。 硅粉加入，是普通的流化床反应；电耗低；STC转化率高；国内运行时间短，可靠的技术尚待验证。
缺点 反应是电氢化还原反应，电耗高；STC转化率低（15%～20%） 是气固反应，间断操作；操作压力高；对硬件的要求高。
综上比较，二者各有优缺点。目前冷氢化工艺和热氢化工艺都有可靠的技术来源，考虑到一期工程采用热氢化工艺及设备，已实现正常开车，并已拥有了比较丰富的建设、操作、管理及维修经验，建议二期工程同样采用热氢化工艺。
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