甲硅烷分解沉积制备高纯多晶硅技术讨论
论坛似乎活跃度不高，不知何故？但似乎业内没有更好的平台，借大化工宝地一叙。关于采用氯硅烷制备低成本的甲硅烷，中国目前似乎已经解决。前面发帖已进行探讨，但几乎无人参与。很遗憾。
本帖主要针对中国的甲硅烷分解技术进行探讨。
根据笔者调研，目前国内的12寸晶圆所需的多晶硅原料仍然完全依赖日本美国进口，
笔者于2020年1月9日安捷伦上海的技术论坛上和国内某知名的12寸晶圆厂当面交流得知。
国内黄河水电及协鑫的电子级多晶硅采用高纯三氯氢硅进行还原沉积制备，笔者推测三个因素可能导致这两家不能制取12寸晶圆所需的高纯多晶料。
1）三氯氢硅提纯技术不过关；
2）分解炉沉积工艺未能真正掌握核心技术，对于沉积的机理及纯度之间的关系并未真正吃透，只是在棒子的数量上和热场上局部做了些工作；
3）电子材料制备的设备相关的加工工艺细节和材料的性能没有真正去关注到。
硅烷相较于三氯氢硅更易纯化，只是解决了第一个因素，硅烷的分解和氯硅烷的分解差距非常大，目前国内的几家量产的硅烷玩家虽然申请了些专利，但似乎并未理解硅烷分解的精髓。第三个因素相同。
以上，欢迎行业内专家同行批评指正，共同探讨，以期国内早日突破硅烷制备高质量的多晶硅棒，从而做出良率在90%以上的区熔单晶。
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