hongjun120 发表于 2014-7-7 11:03:21

MOCVD石墨盘是用来做什么的？

MOCVD石墨盘是用来做什么的？

boyirensheng 发表于 2014-7-7 12:24:23

做净化处理用的
ＭＯＣＶＤ石墨盘清洁装置，其特征在于，其包括：气路控制器，真空反应室，加热单元，压力控制器，泵，尾气处理装置；带腐蚀性的气体与载气进入所述气路控制器中，该气路控制器将其按比率混合后通入所述的真空反应室内，所述的加热单元进行加热控温，且所述的压力控制器进行压力控制，该混合气体与石墨盘表面沉积物充分反应，反应残留物通过泵随载气一起排出真空反应室，进入尾气处理装置进行净化处理。
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