zhaofeng3211 发表于 2011-7-18 10:24:07

多晶硅检测

基磷、基硼电阻率、少子寿命、氧碳浓度、基体金属含量分别用什么仪器检测的啊？

wgznn 发表于 2011-7-28 01:04:51

分别为：FT-IR   电阻率仪少子寿命测定仪FT-IR   ICP-OES

9度多 发表于 2017-3-1 23:34:16

多晶硅检测单位是什么

277302698 发表于 2017-5-21 16:49:08

cryosas 低温红外icpms
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