huahuaniu 发表于 2011-1-21 16:08:31

电极和底盘打火的处理

各位前辈,我们正在试运行,还原炉在高压击穿时,在电极和还原炉底盘的下盘面出现了打火现象。而且比较普遍。我们击穿的方式是高压击穿,击穿电压设定是12000伏,每次击穿一对硅芯。现在硅芯长度为2.2米。而且一般头两组击穿时不打火,以后击穿时出现了打火现象。请各位给予支持和帮助,谢谢!

mao12345 发表于 2011-1-23 12:01:20

还原炉对地绝缘不行嘛。。。需要处理下提高对地绝缘。

tdd 发表于 2011-1-24 20:34:54

主要还是绝缘不够吧?

yuanrs 发表于 2011-1-24 20:51:17

把底座擦干净点。

miaoquan 发表于 2011-1-28 21:13:52

高压设定电压太高了,如果绝缘不合格,瞬间高压容易发生打火现象,再者底盘是否干净干燥也有很大关系,个人认为主要是电压太高

shamoquan 发表于 2011-1-28 21:51:21

是不是四氟套等绝缘不行?新装的四氟套都要做高压耐压试验

何後973 发表于 2011-1-29 00:54:55

使用洁白无瑕的新石英盘
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hmc54 发表于 2011-1-29 16:40:44

用中压启动第三相吧。

sunyu_98 发表于 2011-1-30 10:31:04

是不是炉内气氛发生变化了,或者排气控制不好啊。

sunyu_98 发表于 2011-1-30 10:30:59

是不是炉内气氛发生变化了,或者排气控制不好啊。
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