多晶硅车间事故防范与处理
首次发帖，呵呵，希望没有发重。1.氢气加热器泄漏。报告调度通知氢气站停止送氢，关闭汽化器上氢气进口阀，关闭导热油进口阀，充氮气置换，尾气至三废淋洗塔。硅棒直径在25mm以上的在氮气保护下降温停炉，在25mm以下的可直接停炉。2.三氯氢硅蒸发器泄漏。报告调度通知原料车间停止进料，关闭蒸发器进料阀，关闭导热油进口阀，充氮气将蒸发器物料压至残液罐，并置换，尾气至三废淋洗塔。硅棒直径在25mm以上的在氮气保护下降温停炉，在25mm以下的可直接停炉。
3.还原炉底盘四氟密封件或出入气换热器泄漏。首先关闭该炉进料阀，在氮气保护下停炉。
4.突然停水或水压低、突然停电。打开事故水阀门。用高位槽事故水救急。停止进料，减少氢气量，尾气由回收切换到废气。若突然来水，须缓慢通入冷却水，以免发生水汽爆炸。
5.炉内倒棒。按停炉处理。
6.炉内泄油。断电停炉，关闭该炉导热油进出口阀门，将尾气从回收切换到废气。关闭混合气阀门，改通氮气置换。
7.窥视孔镜片破裂。通入氮气，保持炉内正压，关闭进料阀门和尾气阀门。切断电源，空调放开，防止室内氮气过多而窒息。
8.还原系统压力突然升高。超过0.1MPa，开还原炉尾气阀泄压。
马克
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